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系統識別號	計畫名稱	主辦機關	出國開始	出國結束	地區	人數
C09204926	執行「機械業關鍵技術」計畫之半導體設備晶圓輸出系統研發	國防部中山科學研究院	2002-12-04	2002-12-12	2	2

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