| 二十世紀後期由於半導體產業及微機電技術興起,製作工藝及元件開發乃至於科學研究皆立足於微米世界上。而接續上個世紀末的微米探索熱潮,本世紀初科學家們再度將目光集中於更精巧且富變化的奈米世界,而有今日奈米科技熱潮的產生。中心長久以來致力於發展微系統類LIGA技術,製作並開發相關微元件及製程技術,構築與微米世界溝通的平台。近年來中心則嘗試結合微光學設計與微製程技術,跨入生醫螢光檢測領域,並開發相關的檢測模組。除了生醫微系統技術外,同樣立足於微系統技術的成熟,而逐漸跨入奈/微米工程及檢測的領域中。為了一窺近年來歐美各國在奈米科技及生醫微系統技術發展的現況,作為中心未來發展方向及策略規劃的參考,特赴英國劍橋參加2003年微/奈米工程研討會。此次行程包含：1.參訪Raith公司電子束微影系統為製作奈米結構最主要的製程技術之一,Raith公司長年來發展電子束微影系統,對於相關微影製程技術有長年的經驗,同時亦與歐美各國的研究機構有合作關係。藉由此次參訪,不僅是針對目前中心所建置的Raith50電子束微影系統的進階技術開發進行瞭解,更可藉機學習探索目前歐美各國利用電子束微影系統所開發的各種奈米結構之應用。2.參加2003年微/奈米工程研討會藉由參加此次研討會,蒐集奈米級微影技術、軟微影技術及生醫微系統技術等領域最新的情報,並考察奈米科技在歐盟各國發展的現況。此外,藉由與與會專家接觸對話,可進一步向各國介紹我國在奈米科技發展,建立未來雙方國際聯繫合作的管道。 |