2003-12-03 至 2003-12-11
共 2 位
| 系統識別號 | C09302076 |
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| 主題分類 | 公共工程 |
| 施政分類 | 工程管理 |
| 計畫名稱 | 赴日本參訪及研討半導體設備輸送系統技術公差報告 |
| 報告名稱 | 赴日本參訪及研討半導體設備輸送系統技術公差報告 |
| 電子全文檔 | |
| 報告日期 | 2004-03-24 |
| 報告書頁數 | 94 |
| 出國期間 | 2003-12-03 至 2003-12-11 |
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| 前往地區 |
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| 參訪機關 | |
| 出國類別 | 考察 |
| 關鍵詞 | 半導體前段設備,晶圓輸送系統,機械手臂,磊晶 |
| 計畫主辦機關 | 國防部中山科學研究院 | |||||||||||||||
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| 出國人員 |
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| 因應執行經濟部九十二年度「新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展」專案計畫之半導體設備晶圓輸送系統研發工作,赴日本參加2003年SEMICONJapan展覽會,瞭解目前半導體產業設備發展技術現況與未來趨勢,並與廠商作深入研討,以蒐集輸送設備相關技術資料、掌握市場現況及發展,並作為技術合作或引進之考量依據；另外並參訪Precision公司,探討磊晶先進製程控制技術(AdvancedProcessControl;APC)和磊晶廠設備及其自動化概況及參訪JEL公司進行真空環境大型基材輸送機械手臂設計技術發展趨勢研討,以掌握半導體設備晶圓輸送系統及關鍵模組之市場及技術發展趨勢,有助於計畫執行及後續發展,並建立未來國際合作的管道。 |
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