2004-04-19 至 2004-04-26
共 2 位
系統識別號 | C09305552 |
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主題分類 | 公共工程 |
施政分類 | 工程管理 |
計畫名稱 | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
報告名稱 | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
電子全文檔 | |
報告日期 | 2004-06-18 |
報告書頁數 | 138 |
出國期間 | 2004-04-19 至 2004-04-26 |
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前往地區 |
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參訪機關 | |
出國類別 | 考察 |
關鍵詞 | 電漿輔助化學氣相沉績,水導引雷射,多重雷射光束吸收 |
計畫主辦機關 | 國防部中山科學研究院 | |||||||||||||||
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出國人員 |
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本報告重點為參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術,透過參訪及研討了解半導體製程技術之關鍵技術,對於本院之軍通產業規劃極有助益。 |
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