| 本次參加94年度台德技術合作計畫,赴德國研習「微機電系統之技術與應用」為期28天。除研習相關知識及技術外,並參訪2所大學及1個極富盛名的研究機構。研習期間自94年4月19日至94年5月16日止。微機電是指在微米尺寸,亦即十的負六次方尺度下之製程技術所製造出的迷你機電元件。微機電系統(Micro-ElectromechanicalSystem,簡稱MEMS)係利用「黃光微影技術」、「 #25530;雜技術」、「蝕刻技術」、「薄膜成長技術」等半導體之製程技術,製作微小之機械元件、光學元件及電子元件,並將機械元件、光學元件及電子元件整合成單一系統且製作於矽晶片上,在歐洲則稱為微系統（Micro-System）。微機電系統是一個跨領域之科學,結合了化學、機械、光學、生物、電子等各領域之專業知識及技術,才能整合機械、電子、材料、化學、光學等工程於一微小元件,使其具有一特殊功能之系統元件。參訪的單位包括：1.UnivertityofKasselInstituteofMicrostructureTechnologiesandAnalytics,TechnologicalElectronics,InstituteofPhysics/CINSaT2.KarlsruheResearchCenterInstituteofMicrostructureTechnology(IMT),InstituteofAppliedComputerScience,InstituteofMaterialresearchIII(IMFIII),InstituteofMicrosystemTechnology3.UnivertityofFreiburgInstituteofMicrostructureTechnology(IMTEK) |